· 项目背景 氦氖激光器是以中性原子气体氦和氖作为工作物质的气体激光器。以连续激励方式输出连续激光。在He-Ne混合气体中发生电子碰撞时，H…

· 项目背景 等离子体火炬（亦称等离子体发生器或等离子体加热系统）就是依据这一原理研制的专门设备。等离子体火炬通过电弧来产生高温气体，可在氧…

· 项目背景 电气系统中是否会发生电击穿取决于许多参数，包括几何结构、外加电压、填充气体、压力和温度。电气系统的完全自洽等离子体模型可能非常…

· 项目背景 微波等离子体或波加热放电在许多工业领域都有应用，如半导体加工、表面处理和有害气体的减少。在等离子体的外部产生电磁波，电磁波可以…

· 项目背景 SiH4+Ar混合气体等离子体常用于PECVD等领域。SiH4+Ar放电过程中，电子碰撞电离反应大约在几个放电周期后即达到稳定…

· 项目背景 容性耦合等离子体（也称电容耦合等离子体，CCP），是一种以交变的静电场加速电子，以静电耦合的方式获得等离子体源的产生方式。容性…

· 项目背景 电感耦合等离子体（ICP）反应器在等离子体处理和等离子体源中很重要，因为等离子体密度可能远高于电容耦合放电。ICP相对容易建模…

· 项目背景 等离子体清洗机主要通过活性等离子体对材料表面进行物理轰击或化学反应等单一或双重作用，从而实现材料表面分子水平的污染物去除或改性…