· 项目背景
微波等离子体或波加热放电在许多工业领域都有应用，如半导体加工、表面处理和有害气体的减少。在等离子体的外部产生电磁波，电磁波可以传播到等离子体中，也可以沿着等离子体表面传播，可以产生和维持放电，并加热等离子体中的电子。微波等离子体由于微波功率的廉价可用性而广受欢迎。
· 仿真方法
本例中针对Ar的微波等离子体放电过程进行数值仿真。主要考虑以下要点。
1、反应机理
本项目中根据相关文献，将Ar放电过程整理为7个反应组成的反应体系，其中电子碰撞反应5个，化学反应2个，主要的离子来源于Ar+。并考虑各种激发态粒子和离子在表面的反应。
2、等离子体流体模型
根据漂移-扩散理论建立电子输运方程、电子能量守恒方程和重粒子输运方程，静电场的计算采用泊松方程。其中电子能量分布函数（EEDF）采用麦克斯韦分布，通过对碰撞截面积分计算相关反应速率。
3、等离子体和电磁波耦合建模
等离子体计算得到的电导率耦合到电磁波中，用于计算电磁场分布。电磁波计算得到的热源耦合到等离子体接口中计算电子能量。在频域中求解安培定律获得电磁场分布。
· 负极预钠化
电子密度
电场模
功率损耗