MEMS器件仿真 lihao • 2024 年 8 月 7 日 • 97阅读 力、热、光、电多物理场仿真计算 MEMS器件仿真 sss 本项目仿真了微孔结构中He-Ne在不同的射频电压驱动下发生CCP放电的过程。