· 项目背景
本项目仿真了微孔结构中He-Ne在不同的射频电压驱动下发生CCP放电的过程。
· 仿真方法
1、He-Ne等离子体机理
本例中He-Ne等离子体放电机理共包含15个电子碰撞反应和15个化学反应，其中包括了He和Ne的主要激发态反应，用以评估激光发生情况。该机理中还包含了相应激发态和离子在壁面处发生的反应。
2、等离子体流体模型
根据漂移-扩散理论建立电子输运方程、电子能量守恒方程和重粒子输运方程，静电场的计算采用泊松方程。其中电子能量分布函数（EEDF）采用麦克斯韦分布，通过对碰撞截面积分计算相关反应速率。
· 仿真结果
He-Ne-CCP电子密度
