· 项目背景
SiH4+Ar混合气体等离子体常用于PECVD等领域。SiH4+Ar放电过程中，电子碰撞电离反应大约在几个放电周期后即达到稳定状态，但是中性产物通常要到数s后才能达到稳定。因此这种放电过程更适合采用全局模型进行建模仿真。
本项目中针对SiH4+Ar大气压放电过程进行全局模型仿真。
· 仿真方法
1、反应机理
本项目中建立了包含37个反应物和152个反应的放电体系，其中主要的离子包括各种硅烷的正负离子，主要关注的产物包括乙硅烷和丙硅烷等。
2、全局放电模型
等离子体反应器中不同量的空间信息被视为体积平均值。没有空间导数，方程组的数值解变得相当简单，计算时间大大缩短。这种类型的模型在研究具有复杂等离子体化学的广泛参数区域时非常有用。
· 仿真结果
各活性物质数密度变化